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第二百七十一章 成功了!光刻工厂实现了!

第二百七十一章 成功了!光刻工厂实现了! (第2/2页)

ArF光刻胶遇到光源,内部开始发生化学反应。
  
  而ArF光刻胶又分正胶和反胶,这次曝光用的是正胶,被曝光区域的光刻胶会发生化学反应,没曝光区域则不受到影响。
  
  一块区域被曝光后,透镜组立马移动,侧开照射光源,待移动平台调整后继续移回正位,对下一个区域进行光刻曝光。
  
  12寸半导体硅片,大概能产出232块1.6×1.6的成品裸片,也就是说需要曝光232次。
  
  目前来说,曝光一次的速度大概在1秒,这就需要232秒,也就是差不多4分钟才能把一张半导体硅片全部曝光完成。
  
  虽然这个速度相比较于光刻机慢了差不多一倍,可光刻工厂毕竟是国产自研,而且是第一代产物,后续透镜组和移动平台还能继续优化,追赶上光刻机的光刻速度不是不可能的。
  
  在等待了四分钟后,林天看向陈星等人解释道:“考虑到两块光掩膜版的能量消耗,我们先不急着拿去显影,让半导体硅片再次加热,加剧光刻胶的化学反应。”
  
  陈星、雷兵、夏扬微微颔首,都在等待着结果。
  
  现在这里陈星算半个门外汉,雷兵、夏扬则是都是门外汉,只能听林天安排。
  
  他别说拿去烤了,哪怕是烧,他们也会觉得很合理。
  
  随着林天输入指令,本该送去显影的半导体硅片被传送去了烘烤区域,进行二次加热,加剧ArF光刻胶内部的化学反应。
  
  当这步完成以后,半导体硅片再次被运输,它来到了显影区域。
  
  先用去离子水润湿硅片,紧接着把硅片放在显影平台,上方的机器设备喷出显影液,均匀地撒在半导体硅片表面,进一步溶解被曝光的部分区域。
  
  随着这个步骤完成,半导体硅片表面已经清晰可见电路图案,只差最后的冲洗,将未曝光部分黏着的光刻胶全部清洗掉。
  
  “我好像看见图案了。”
  
  雷兵瞪大双眼,不敢错过任何一丝的细节。
  
  “我也看见了。”夏扬附和道。
  
  刚才半导体硅片清洗拿出时,可以清晰看见硅片表面密密麻麻的电路图案。
  
  “有电路图案是好事,但还需要经过电路测试才能知道芯片能不能正常运行。”
  
  陈星讲解道。
  
  经过了开天芯片、轻舟芯片、SOC上帝芯片多次耳濡目染,他已经算半个行内人了。
  
  曝光、蚀刻、显影、清洗他都略懂一二,当然了,只是略懂,还停留在理论知识层面。
  
  不过纵使是这样,雷兵还是忍不住竖起拇指称赞道:“想不到陈总不仅在商业领域有所建树,原来在芯片领域也有自己独到的见解。”
  
  “确实想不到。”
  
  夏扬也附和一声。
  
  本以为陈星什么也不懂,没想到人家出口成章,这让他们都感到了一丝意外。
  
  听着两人称赞,陈星也几位谦虚道:“不算是见解,只是耳濡目染多了记下的知识点。”
  
  “能记下也是个本事。”
  
  雷兵笑道。
  
  夏扬也点了点头,附和道:“没错,记忆力不好的想记也记不住,陈总能记住这些流程,足以见得龙兴科技深耕芯片的赤子之心。”
  
  在两人一唱一和拍陈星马屁的同时,全自动化的生产线已经把显影后的半导体硅片送去切片,进行最终电路测试。
  
  林天看着“检测中”的提示,看向陈星说道:“如果可以通过,二期光刻工厂就可以开工了,不过能源还是个问题…”
  
  他目光看向夏扬。
  
  后者立马会意,连忙说道:“陈总、林首席你们放心好了,只要证实光刻工厂可行,天一亮我就回去召开市级会议,主题就是建设你们的能源输送通道。”
  
  “没错。”
  
  雷兵附和一句,继续说道:“别的地方不敢保证,但在深城,夏局还是可以说上两句话的。”
  
  “包在我身上。”
  
  夏扬拍了拍胸口。
  
  他们都是混体制的,当然明白国家目前的主推方向。
  
  要是能协助龙兴科技完成光刻工厂的建设,那他们所有人说不定都可以往上走两步。
  
  体制内,谁不想进步?
  
  有进步的机会,他们可不会放过,更何况是涉及“芯片”的。
  
  “我先谢谢两位的好意,不过…”陈星犹豫了一会,还是决定说出宋卫国承诺的“东电南调”计划道:
  
  “就如果说光刻工厂证实可以产出芯片,我希望深城电力局多建设抛狗岭地区的电力传输系统,保障电力输送,至于电力的话,奉天军区的宋首长说过,近期会有个东电南调文件下达。”
  
  雷兵:“???”
  
  夏扬:“!!!”
  
  这句话说出那刻,雷兵满脑子都是问号。
  
  奉天军区?
  
  这不是隶属于北部战区的吗?
  
  你陈星不和南部战区打交道,跑去北部战区了?
  
  身旁的夏扬则是惊讶到懵逼,东电南调文件,这不是刚刚下达的全国性绝密文件吗?
  
  难不成…
  
  它是专门支撑光刻工厂的??
  
  想通了!
  
  夏扬终于想通了!
  
  他就说怎么这么奇怪,明明东部地区用的是国家电网,而深城用的是南方电网,怎么会突然输送电力过来,深城也不缺电啊。
  
  原来是专门支持龙兴科技建设光刻工厂的,这也就是说,上边其实已经是知道的了。
  
  “咕噜——”
  
  夏扬咽了口唾沫。
  
  他看向陈星的目光,已经带了几分敬畏,这个不到三十的青年掌握的能量超乎了他的想象。
  
  如果可以的话,他真想在陈星耳畔轻声说一句:“陈总,我夏扬太想进步了。”
  
  就在雷兵和夏扬内心掀起惊涛骇浪,震惊到大脑空白时,林天突然打断了他们道:“裸片电路的检测结果出来了。”
  
  陈星:“!!!”
  
  雷兵:“!!!”
  
  夏扬:“!!!”
  
  三人立马侧目,顺着林天目光注视的方向看去,上面赫然写着“电路未检测出异常”八个大字,最左侧的屏幕,还有SOC上帝芯片的全部数据参数,包括纳米等级,微架构与运行功率。
  
  在一一进行比对后,林天神色激动地看向陈星等人宣布道:“成功了!光刻工厂实现了!”
  
  (本章完)
  
  
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